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芯米半导体首台幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300交付客户

来源:集微网 发表时间:2023-04-21 04:47:09
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集微网消息,4月8日,芯米(厦门)半导体设备有限公司(以下简称“芯米半导体”)首台自研自创幻影12英寸光刻工艺涂胶显影设备XM300已成功交付国内一线客户。

芯米半导体是一家专业从事半导体黄光制程设备的生产厂家,专营产品晶圆制造黄光制程Coater and Developer(涂布显影设备)系列,包括温湿度控制机、中央供酸系统、光阻PUMP等配套设备,及国外高端机型的零件开发、工艺升级、设备改造服务等。

2021年11月,芯米半导体举办涂布显影设备新品发布会,推出首套集成电路前道制程8寸全自动涂布显影设备;同月,交付首套集成电路前道制程8寸(2C/2D)全自动涂布显影设备至客户。(校对/韩秀荣)

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